新品投影立式光學(xué)計分類
機(jī)械式儀
和百分表和千分表、杠桿齒輪式測微儀或扭簧測微儀等機(jī)械式示表作為放大、示件。杠桿齒輪式測微儀的作原理與百分表和千分表相似。但1級放大機(jī)構(gòu)是杠桿,其分度值通常為1微米。扭簧測微儀是種具有無機(jī)械摩擦放大機(jī)構(gòu)的示表(圖 [扭簧測微儀作原理].它的主要放大元件是根從中間起端向右扭曲,另端向左扭曲的金屬薄片(寬度為0.1毫米左右,厚度為0.005毫米左右),稱為扭簧絲。在它的中間粘有根直徑約為0.06毫米的空心玻璃絲做的針。當(dāng)測桿上下移動時,可動支架把上下位移轉(zhuǎn)換為左右位移,使扭簧絲縮短或伸長,并帶動針轉(zhuǎn)個角度,從表盤上即可讀出測桿的位移量。扭簧測微儀的靈敏度很,常見的分度值有1微米、0.5微米、0.2微米和0.1微米幾種,可達(dá)0.02微米。示值范圍般為±50個分度值。機(jī)械式儀常用在車間和計量室測量件外徑和厚度等。
3光學(xué)儀
利用光學(xué)測微儀作為放大示件。常見的有立式、臥式和影屏式 3種。
①立式光學(xué)儀:又稱立式光學(xué)計,圖3[光學(xué)測微儀的光學(xué)系統(tǒng)]為光學(xué)測微儀的光學(xué)系統(tǒng)。它是按自準(zhǔn)直原理(見自準(zhǔn)直儀)設(shè)計的。分劃板位于物鏡焦平面上,平面反射鏡按杠桿原理設(shè)置。當(dāng)測桿上下移動時,平面反射鏡繞支點(diǎn)轉(zhuǎn)動個很小角度,由平面反射鏡反射回去的光線,經(jīng)直角棱鏡后成象在分劃板上的刻度尺象發(fā)生偏移。偏移量的大小與測桿移動距離成比例。光學(xué)測微儀的分度值為 1微米,示值范圍為0.1毫米。立式光學(xué)計適宜在計量室使用,測量范圍為0~180毫米,常用于檢定量塊和光滑量規(guī)以及測量件的外徑、厚度。
②臥式光學(xué)儀:又稱臥式光學(xué)計,其作原理與立式光學(xué)計相同,測量范圍為0~500毫米,適用于在計量室測量較大的或在立式光學(xué)計上不易定位的件,如圓盤等,也常利用測孔附件測量孔徑。
③影屏式光學(xué)儀:又稱投影光學(xué)計,其光學(xué)系統(tǒng)與立式光學(xué)計相似,但刻度尺影像經(jīng)投影放大透鏡放大后成象于影屏上。分度值有1微米、0.2微米等。分度值為 0.2微米的光學(xué)系統(tǒng)采用多次反射以增大光學(xué)杠桿的放大比。此外,還有用光波干涉法測量的接觸式干涉儀,其分度值為0.05微米、0.1微米和0.2微米。
4電學(xué)儀
常用電感式或電容式測微儀(見長度傳感器)作為放大、示件。圖4 [數(shù)字顯示電感式儀]是數(shù)字顯示的電感式儀,其分辨率有1微米、0.1微米和0.01微米等幾好種。